真空貼合装置の試作・評価試験
ご希望の貼り合せテストが可能です。お気軽にご相談ください。
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試作・評価試験 事例
- 自動車業界 ：内装・外装 電装部品
- 太陽電池業界 ：曲面太陽電池 材料評価
- 電気・電子業界：曲面カバー 特殊樹脂 電子部品
- その他 ：材料評価
真空貼合装置の用途、加工例
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| 主な用途 | 加工例 | 分野別用途 |
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テスト機のご紹介
| ■LM-100×100 |
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熱板有効サイズ |
1,000×1,000mm (上熱板有効サイズ 800×800mm) |
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チャンバー内空間高さ |
110mm ※「空間高さ」＝「ラミネーションできるワークの高さ」ではございません |
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チャンバー開閉方式 |
コラム開閉方式 |
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真空到達 |
2分以内に133Pa ※熱板上にワークが無い状態で、チャンバー内を真空にした場合 |
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真空ゲージ |
上下真空用ブルドン計 上下圧力センサー・下真空用ピラニー計 |
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温度コントロール (4ゾーン) |
PID制御にてコントロール（オートチューニング機能付） 設定温度範囲: 25～200℃ 最大温度誤差: 設定温度に対し±2℃ |
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プレスコントロール |
0～1MPa相当 (大気圧0.1Mpa＋エアプレス 0.6MPa + 油圧式プレス0.3MPa) |
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真空ポンプ |
ロータリーオイルポンプ 日本ブッシュ製 RA-0502C |
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熱板 |
上熱板ヒーター付（設定温度範囲: 30～180℃） 冷却機構（空冷、水冷式） |
| ■LM-50×50-S |
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熱板有効サイズ |
500×500mm |
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チャンバー内空間高さ |
60mm ※「空間高さ」＝「ラミネーションできるワークの高さ」ではございません |
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チャンバー開閉方式 |
コラム開閉方式 |
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真空到達 |
2分以内に133Pa ※熱板上にワークが無い状態で、チャンバー内を真空にした場合 |
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真空ゲージ |
上下真空用ブルドン計 上下圧力センサー・下真空用ピラニー計 |
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温度コントロール (1ゾーン) |
PID制御にてコントロール（オートチューニング機能付） 設定温度範囲: 25～180℃ 最大温度誤差: 設定温度に対し±3℃ |
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プレスコントロール |
0～0.5MPa相当（大気圧0.1Mpa+エアプレス0.4Mpa） |
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真空ポンプ |
ロータリーオイルポンプ ライボルト社製 SV100B |
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熱板 |
サポーティングデバイス（SD）ピン付 |
高精度アライメント装置との組み合わせで貼り合わせ精度アップ
貼り合わせ精度が必要な粘着性のあるフィルムも気泡やしわもなく、アライメント精度±50㎛以下で貼り合わせ可能
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①ワークをセットした治具をアライメントテーブルの上にセット ②ビジョンシステムにてアライメント ③移載機が治具を吸着し、ラミネーター内に搬送しセット |
